传说2月28日工信部验收了中国第一条EUV制程晶圆产线，用于制造10nm级DDR5（该信息目前无法证实，可能是用在长鑫存储）。上海微电子能造ArF、KrF、i-line光刻机，它家研发EUV光刻机走LPP路线，2024年尝试组装，已在EUV光刻机核心子系统上取得实质性突破。中国采用LDP（放电等离子体）路线研发EUV光刻机的主要是哈尔滨工业大学联合中科院团队。有消息称，上海微电子将推出搭载哈尔滨工业大学LDP技术的SSR700系列光刻机样机，很可能就是这家集成了中国大量科研心血，南北大合作。林毅夫（北大…